· 基于压力传感器的质量流量控制器
· 超快响应时间: ≤0.5Sec
· 最高精度: ≤0.5% of S.P
· 耐腐蚀性强：电抛光 <0.1um RA
· 高流量稳定性：强大的PI功能 (10psi)
· 支持MGMR功能
· 通讯：D-NET/EtherCAT/RS485/ Analog V&A