· 标准质量流量控制器
· 快速响应时间: ≤1Sec
· 高精度: ≤1% of S.P
· 耐腐蚀性强: 电抛光<0.1um RA
· 支持纤薄型MFC: 具有紧密性
· 支持MGMR功能
· 通讯: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A