· 压力不敏感质量流量控制器
· 快速响应时间: ≤1Sec
· 高精度: ≤1% of S.P
· 耐腐蚀性强：电抛光 <0.1um RA
· 高流量稳定性：强大的PI功能 (10psi)
· 支持MGMR功能
· 通讯：D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A